法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-06-02
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 5/02 专利号:ZL2021211120036 申请日:20210522 授权公告日:20211210
专利权的终止
机译: 非接触式光热学计量学和表征半导体晶片,器件和非电子材料的仪器
机译: 计量仪器,光刻装置,工艺仪器,计量方法和装置制造方法
机译: 用于干式除尘器装置的计量装置,具有称重传感器,可检测添加剂的重量,其中计量速率由单位时间内确定的重量取决于装置的供应量确定