一种CVD法制备碳纳米管进气喷口

摘要

本申请提供了一种CVD法制备碳纳米管进气喷口，属于化学气相沉积炉技术领域。该一种CVD法制备碳纳米管进气喷口，包括炉体和混合件。所述混合件包括抽气泵、混合箱、第一进气管和第二进气管，所述抽气泵出气端与所述炉体连通，所述混合辊与所述进气槽出气口对应设置，所述混合箱内固定连接有混合球，所述混合球与所述第一进气管出气端对应设置，所述出气槽与所述混合箱之间均间隔分布有出气孔，且所述抽气泵进气端与所述出气槽连通。通过本装置的设计，整体设计优化常规的炉体的设计，使其在实际使用时，可以对通入的气体进行充分的混合，降低影响反应的效果，同时，一定程度上避免对品质的影响。