一种反溶剂膜旋涂装置

摘要

本实用新型涉及一种反溶剂膜旋涂装置，其包括工作台、升降模组、液膜环、容器旋涂仪和驱动件，升降模组转动安装在工作台上；液膜环固定安装在升降模组上；容器固定安装在工作台上，容器内盛放添加有表面活性剂的反溶剂；旋涂仪固定在工作台上，旋涂仪吸盘上吸附有基底；驱动件通过传动机构与升降模组传动连接。本实用新型提供的一种反溶剂膜旋涂装置，采用在液膜环中形成反溶剂膜，在反溶剂膜与基底接触时破裂，使反溶剂与基底上的钙钛矿前驱体溶液均匀接触、萃取残余溶剂，从而形成均匀大面积的钙钛矿薄膜，取代了由枪头冲在基底中心，而产生的反溶剂作用面积小的问题，对商业大规模生产均匀大面积薄膜具有积极的推动作用。