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一种自支撑类石墨多孔非晶碳薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种自支撑类石墨多孔非晶碳薄膜的制备方法,包括下述步骤:S1:对金属镍片衬底进行超声清洗,并烘干后放置于管式炉中;S2:向所述管式炉中通入惰性气体;S3:对所述管式炉进行升温处理使其达到600℃‑720℃,向所述管式炉中通入氢气,并对所述金属镍片衬底进行热处理;S4:向所述管式炉中通入碳氢化合物,使得经过热处理后的金属镍片衬底催化碳氢化合物裂解后生长非晶碳薄膜;S5:对所述管式炉进行降温处理,并将生长有非晶碳薄膜的镍片浸泡在腐蚀液中腐蚀掉衬底镍片后获得自支撑类石墨多孔非晶碳薄膜。采用本发明制备方法对环境温度要求不高,制备得到的非晶碳薄膜具有多孔结构和自支撑结构,可以很方便转移至任何衬底。

著录项

  • 公开/公告号CN103643217B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-08-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 华中科技大学;

    申请/专利号CN201310624301.7

  • 发明设计人 魏合林;朱大明;刘宇昊;

    申请日2013-11-28

  • 分类号

  • 代理机构华中科技大学专利中心;

  • 代理人朱仁玲

  • 地址 430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

  • 入库时间 2022-08-23 09:44:21

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-11-15

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/26 授权公告日:20160817 终止日期:20181128 申请日:20131128

    专利权的终止

  • 2016-08-17

    授权

    授权

  • 2016-08-17

    授权

    授权

  • 2014-04-16

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/26 申请日:20131128

    实质审查的生效

  • 2014-04-16

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/26 申请日:20131128

    实质审查的生效

  • 2014-03-19

    公开

    公开

  • 2014-03-19

    公开

    公开

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