公开/公告号CN214536933U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-10-29
原文格式PDF
申请/专利权人 大庆市罗德博尔科技开发有限公司;
申请/专利号CN202120314565.2
申请日2021-02-03
分类号F25B39/00(20060101);F28F9/013(20060101);
代理机构32492 无锡智麦知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人王普慧
地址 163000 黑龙江省大庆市萨尔图区中桥路14号金山五交化批发商城5-9
入库时间 2022-08-23 01:21:31
机译: 用于至少一种基板的气体处理的系统,包括反应室,用于支撑布置在反应室中的一种基板的基板支撑结构,静态气体注入器和至少一个可移动气体注入器
机译: 用于至少一种基板的气体处理的系统,包括反应室,用于支撑布置在反应室中的一种基板的基板支撑结构,静态气体注入器和至少一个可移动气体注入器
机译: 主要气体管道压缩机站空气冷却装置的换热管清洁方法