光学元件多点透射反射率光谱测量装置

摘要

本实用新型属于光学检测设备技术领域，公开了光学元件多点透射反射率光谱测量装置，该装置中，光源摆臂与检测摆臂可以分别进行0‑360度旋转(也可以同步进行)，通过调整光源摆臂的旋转角度来调整光线与样品表面的入射角，从而可以进行多角度(0‑40度)的检测。通过调整检测摆臂的旋转角度来调整采集模块接收的光线是透过光线还是反射光线，从而切换不同的检测功能；样品台可以在Z轴方向移动，同时利用水平激光示高模组与样品台Z轴位移模块共同调整样品的上表面高度，实现了样品高度精确的自动定位，整套装置配套计算控制模块，实现了全自动检测。