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一种结构简单的高纯三氟化氮提纯装置

摘要

本实用新型公开了一种结构简单的高纯三氟化氮提纯装置,具体涉及三氟化氮生产设备技术领域,包括底板,所述底板顶部通过螺栓固定安装有提纯罐,所述提纯罐内壁底部填充有水体,所述提纯罐内壁顶部固定套有进气管与出气管;本实用新型的管道采用外管和内管的双层管方式,可有效提高管道对三氟化氮气体的密封性,且当内管产生泄露后,三氟化氮气体会通过气孔进入到检测管内,并由单向阀进行单向排出,气体报警器检测到排出的三氟化氮气体会进行报警,并对控制中心进行示警,控制中心内控制器可及时对第二电磁阀进行开启,使检测管内闭合,从而既可防止三氟化氮气体泄露,又可进行报警方便人们对破损处进行维修,提高了装置的安全性。

著录项

  • 公开/公告号CN214210463U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2021-09-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 江苏安瑞森电子材料有限公司;

    申请/专利号CN202120034796.8

  • 发明设计人 秦国庆;

    申请日2021-01-07

  • 分类号B01J19/00(20060101);B01J19/24(20060101);C01B21/083(20060101);

  • 代理机构34170 合肥华利知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人杨春女

  • 地址 215600 江苏省苏州市张家港保税区石化交易大厦20楼

  • 入库时间 2022-08-23 00:30:27

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