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具有双串联冷却槽的气体喷射器

摘要

本实用新型为一种具有双串联冷却槽的气体喷射器,包括一第一冷却模块包括复数第一冷却槽之间以同心圆层叠环绕设置,且相邻的第一冷却槽之间设有一第一导流口,第一冷却模块外环设有一阻隔层,其外更环设有一第二冷却模块,其包括复数第二冷却槽之间以同心圆层叠环绕设置,且相邻的第二冷却槽之间设有一第二导流口,每一第一冷却槽与每一第二冷却槽内还设有多条喷气管,且喷气管的开口露出于第一冷却槽与第二冷却槽外。本实用新型可令每一喷气管浸泡于冷却液中,且能分区控制喷气管的温度。

著录项

  • 公开/公告号CN214218854U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2021-09-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 苏州雨竹机电有限公司;

    申请/专利号CN202022427120.3

  • 发明设计人 吴铭钦;刘峰;

    申请日2020-10-27

  • 分类号C23C16/455(20060101);H01L21/67(20060101);

  • 代理机构11139 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人李林

  • 地址 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹中路39号2幢2楼西侧

  • 入库时间 2022-08-23 00:28:56

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