传导射频注入TVS产生的谐波的测试装置

摘要

本实用新型提供一种传导射频注入TVS产生的谐波的测试装置，属于半导体器件领域。所述传导射频注入TVS产生的谐波的测试装置包括：信号源、输出滤波器和频谱分析仪，信号源的输出端与待测TVS器件的第一端连接，待测TVS器件的第一端与输出滤波器的输入端连接，信号源的输出端还与输出滤波器的输入端连接，输出滤波器的输出端与频谱分析仪的输入端连接，待测TVS器件的第二端接地。该装置通过信号源产生射频信号定向传导注入到TVS，然后通过频谱分析仪测量TVS产生的谐波信号的大小，实现在TVS器件应用前评估不同型号或不同厂家的TVS的非线性特性产生的谐波值，以实现对整机产品造成可能的额外谐波干扰的量化的评估。