公开/公告号CN103493182B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-08-10
原文格式PDF
申请/专利权人 伊雷克托科学工业股份有限公司;
申请/专利号CN201280014588.5
申请日2012-03-23
分类号
代理机构北京银龙知识产权代理有限公司;
代理人许静
地址 美国俄勒冈州
入库时间 2022-08-23 09:44:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-08-10
授权
授权
2014-02-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/301 申请日:20120323
实质审查的生效
2014-01-01
公开
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