公开/公告号CN214098444U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-08-31
原文格式PDF
申请/专利权人 上海菲戈恩微电子科技有限公司;
申请/专利号CN202022591159.9
申请日2020-11-11
分类号G06K9/00(20060101);G03F9/00(20060101);
代理机构51276 成都蓉创智汇知识产权代理有限公司;
代理人赵雷
地址 200000 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区高斯路497号2层203室
入库时间 2022-08-23 00:03:22
机译: 用于物体的光学检测的光学传感器具有设计为LED芯片的发光器,该LED芯片具有发射辐射的表面,除了LED芯片之外,在该发射表面上光学孔径元件部分地形成为单独的组件。
机译: 集成传感器芯片的生物识别系统集成传感器芯片的生物识别系统
机译: 具有用于形成集成电路芯片的不同区域的单独掩模的掩模组,包括具有光圈装置的掩模组的曝光系统以及使用该掩模组对半导体晶片进行曝光的方法