排风装置、化学品供应设备及化学品供应系统

摘要

本实用新型提供一种排风装置、化学品供应设备和化学品供应系统，排风装置包括排风部件和收集部件，所述排风部件与所述收集部件相通，所述排风部件的不同高度设置至少两个通风单元。化学品供应设备内设有上述排风装置。化学品供应系统包括上述化学品供应设备和外部排风管道，排风装置与外部排风管道相连接。本实用新型排风部件上的通风单元可以分布于排风部件近收集部件段和/或远收集部件段，有效排出设备内部的各位置的有害气体，而且有害气体堆积形成的有害液滴收集于收集部件，降低有害液滴直接滴落对设备和操作人员带来的危险。