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基于多孔硅传感器的系统

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本实用新型涉及一种基于多孔硅传感器的系统。基于多孔硅传感器的系统包括：衬底，以及在所述衬底上的波导，所述波导具有多孔部分。

著录项

公开/公告号CN214041167U

专利类型实用新型
公开/公告日2021-08-24

原文格式PDF
申请/专利权人洛克利光子有限公司;
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申请/专利号CN201990000703.0
发明设计人张毅;A·J·齐尔基;H·F·琼斯;A·斯科菲尔德;
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申请日2019-03-12
分类号G01N21/77(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人李文斐;陈岚
地址英国伦敦
入库时间 2022-08-22 23:54:10

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2023-04-18

专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01N21/77 专利号:ZL2019900007030 变更事项:专利权人变更前:洛克利光子有限公司变更后:洛克利光子有限公司变更事项:地址变更前:英国伦敦变更后:英国柴郡奥尔特灵厄姆,阿什利路1号3层,WA14 2DT

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

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