一种从工业笑气提纯为高纯笑气的装置

摘要

本实用新型公开了一种从工业笑气提纯为高纯笑气的装置，包括至少两级提纯单元，每级提纯单元包括冷凝器和气液分离器，其中，每级提纯单元中，冷凝器的气液混合相出口连通气液分离器的气液混合相入口，相邻提纯单元中，前一级气液分离器的冷凝液出口和后一级冷凝器的气相入口分别连通一汽化器的液相入口和气相出口，第一级提纯单元中，冷凝器的气相入口连通一气态工业笑气源连通或者一液态工业笑气源的液相出口和冷凝器的气相入口分别连通一汽化器的液相入口和气相出口。提纯后的高纯笑气中笑气含量达到99.9995％以上，完全满足了电子行业对于高纯笑气的纯度要求。