公开/公告号CN213906646U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-08-06
原文格式PDF
申请/专利权人 珠海市一微半导体有限公司;
申请/专利号CN202022549764.X
申请日2020-11-06
分类号H03K5/05(20060101);H03L7/087(20060101);H03L7/099(20060101);H03L7/107(20060101);
代理机构
代理人
地址 519000 广东省珠海市横琴新区宝华路6号105室-514(集中办公区)
入库时间 2022-08-22 23:29:45
机译: 脉宽扩展光学系统,包括该脉宽扩展光学系统的投影曝光设备及其制造方法
机译: 脉宽扩展光学系统,包括该脉宽扩展光学系统的投影曝光设备及其制造方法
机译: 脉宽扩展电路和包括该电路的电子设备