一种硅基毫米波渐变槽线天线

摘要

本实用新型公开了一种硅基毫米波渐变槽线天线，属于微波天线技术领域。本实用新型由硅基介质上下表面对称设置的金属化图形形成，包括馈电部分与辐射部分；所述馈电部分，包括由硅基介质两边刻蚀金属化通孔阵列所构成基片集成波导；所述辐射部分的金属化图形为沿所述金属化通孔阵列延伸方向的、槽线间距逐渐增大的渐变槽线。本实用新型能够与现有的CMOS工艺兼容；结构简单，组成阵列后宽角扫描性能优异。