一种MAiA设备硅烷流量在线测试系统

摘要

本实用新型涉及一种MAiA设备硅烷流量在线测试系统，包括用于氮气进气的进气管一、硅烷进气的进气管三、中连管、右连管和标准计，所述进气管三连接有换向阀三，所述进气管一通过中连管连接右连管，所述右连管的另一端通过三通连接在进气管三上，所述换向阀三的另一个气口连接有后连管二，所述后连管二上分为若干分支管并最终连通至工艺腔体内部，所述右连管上设置有标准计，所述分支管上沿气体流向依次设置有待测计和气动阀五；本实用新型通过在待测计的上游增设标准计实现对待测计的对比测试，使得不需要拆下待测计即可进行待测计的在线检测，可现场应用，保证了待测计检测的便利性。