一种针对Pin Fin基板的快速热校准装置

摘要

本实用新型涉及半导体技术领域，具体是一种针对Pin Fin基板的快速热校准装置，包括电磁加热板，与现有技术不同的是：所述电磁加热板的上表面直接或间接抵接热导体材料的槽体的下表面，所述槽体内盛装满细沙，需测量的Pin Fin基板埋入所述细沙内。与现有技术相比，本实用新型缩短了校准时间，提高了校准效率。