一种利用飞秒激光直写技术制备任意占空比振幅光栅装置

摘要

一种利用飞秒激光直写技术制备任意占空比振幅光栅装置，该装置包括高功率光子晶体光纤飞秒激光系统、第一准直光阑、第二准直光阑、半波片、偏振分光棱镜、电子光学快门、第一计算机、第一反射镜、第一凸透镜、第二凸透镜、第二反射镜、双色镜、显微物镜、附有金属膜的玻璃基片、三维精密移动平台、照明光源、半透半反镜、CCD相机、第二计算机、氦氖激光光源。本装置利用LabvIEW软件对三维精密移动平台和电子光学快门联动控制及通过调节离焦距离精确控制烧蚀金属膜光斑直径大小，实现了任意占空比平面振幅光栅的制备。本实用新型具有成本低廉、易于操作、自动化程度高等优势，在利用飞秒激光制备振幅光栅方面具有良好的应用前景。