公开/公告号CN213203187U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-05-14
原文格式PDF
申请/专利权人 湖南铠欣新材料科技有限公司;
申请/专利号CN202021338521.5
申请日2020-07-09
分类号C23C16/44(20060101);
代理机构43235 长沙轩荣专利代理有限公司;
代理人黄艺平
地址 413000 湖南省益阳市高新区东部产业园标准化厂房E区E1栋北侧一半
入库时间 2022-08-22 21:31:56
机译: 钟罩式化学气相沉积设备,其增加了沉积膜的均匀性。
机译: 连续热处理炉的钟罩式多摩卡退火结构
机译: 钟罩式金属盘炉在受控气氛中的退火