一种干涉仪用精密样品工装

摘要

本实用新型公开了一种干涉仪用精密样品工装，涉及物理光学技术领域。本实用新型包括观察机构、固定机构和支撑机构，固定机构与观察机构螺纹连接，支撑机构与观察机构套接，固定机构上设置有旋转销和弹性压块，支撑机构设置有固定件。本实用新型通过设置固定机构和支撑机构，当把样品放置在观察机构的定位面上的时候，使固定件的固定头可以将样品按压固定在定位面上，避免了汗渍或者灰尘对检测结果造成影响，然后四个旋转销单独工作，依零件形状可同时使用，也可只使用部分，以适应圆形、方形、异形样品的装夹，与旋转销配合使用的观察机构的定位面确保样品竖直，避免倾斜，实现不同样品的通用装夹，同时确保样品与光路的正相干，避免测量偏差。