一种用于石墨电极底部防尘的防护罩

摘要

本实用新型涉及一种用于石墨电极底部防尘的防护罩，属于化学气相沉积技术领域。防护罩包括PBN材质的主体，其中，主体为内部中空的圆柱型，主体下端开口，上端中心位置设置圆形贯穿孔，主体下端紧贴底部石墨板。本实用新型整体套装在石墨电极上，全面覆盖石墨电极与底部石墨板之间的口径空隙，使反应腔室内气体与电极隔绝，有效阻挡碳毡颗粒、粉尘等杂质进入反应腔室内，改善反应腔室内洁清环境，提高电阻稳定性，从而提高产品的光滑度，改善产品的质量。