公开/公告号CN102650672B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-08-10
原文格式PDF
申请/专利权人 上海宝钢工业检测公司;
申请/专利号CN201110044060.X
申请日2011-02-24
分类号G01R31/12(20060101);
代理机构31216 上海天协和诚知识产权代理事务所;
代理人张恒康
地址 201900 上海市宝山区湄浦路335号
入库时间 2022-08-23 09:43:42
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-21
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01R31/12 变更前: 变更后: 申请日:20110224
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2017-07-07
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01R31/12 变更前: 变更后: 申请日:20110224
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2017-07-07
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01R 31/12 变更前: 变更后: 申请日:20110224
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2016-08-10
授权
授权
2016-08-10
授权
授权
2016-08-10
授权
授权
2014-03-26
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R31/12 申请日:20110224
实质审查的生效
2014-03-26
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 31/12 申请日:20110224
实质审查的生效
2014-03-26
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 31/12 申请日:20110224
实质审查的生效
2012-08-29
公开
公开
2012-08-29
公开
公开
2012-08-29
公开
公开
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机译: 在半导体器件的情况下,用于测试层间介电中空空间和接触电阻的测试的测试结构
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