一种横向硅片传输机构及硅片传输设备

摘要

本实用新型提供了一种横向硅片传输机构及硅片传输设备，所述的横向硅片传输机构包括横向传输组件、用于驱动所述的横向传输组件升降的升降组件，所述的横向传输组件包括两个相互平行设置的横向传输导轨，所述的横向传输导轨包括传送轮安装框架、横向传送带，所述的传送轮安装框架包括上下平行设置的上安装架和下安装架，所述的上安装架的两端设置有上传送轮，所述的下安装架的两端设置的下传送轮，所述的横向传送带绕过所述的上传送轮和下传送轮。