一种半导体设备EPM装置部件洗净清洗治具

摘要

本实用新型公开了一种半导体设备EPM装置部件洗净清洗治具，包括治具、侧板和石墨棒，所述治具顶部两端通过卡槽固定有侧板，所述侧板之间设置有石墨棒，所述侧板一侧设有管体，所述管体内部设置有一号弹簧，管体一端设有一号定位销，所述侧板另一侧通过螺栓固有转动板，所述转动板一侧两端通过安装槽安装有二号定位销且二号定位销和转动板之间通过安装槽安装有二号弹簧。本实用新型采用治具清洗，可以实现清洗全过程均在治具上操作，可自由清洗石墨棒所有表面，提高清洗效率，节省人工成本，适合被广泛推广和使用。