一种全新的12英寸物理气相沉积钛腔体覆盖环配件装置

摘要

本实用新型公开了一种全新的12英寸物理气相沉积钛腔体覆盖环配件装置，包括腔体盖环，腔体盖环上表面加工成型有三组同心环且从内到外分别为同心环一、同心环二和同心环三，同心环一、同心环二和同心环三均呈凸起状结构且表面均加工成型有环形槽口，环形槽口呈下凹式的环形结构，同心环三的边缘加工成型有翻边，翻边加工成型为外翻的弧面结构且外围下表面加工成型有安装口，安装口的开口处连接有叶片。本实用新型通过在配件表面的刻花，增大接触面积，能粘附更多的附属物，同时分散这些附着物的应力分布，附着的附属物不容易剥落，减小颗粒产生的几率，提高制程的质量，延长腔体保养的周期，从而提高机器的使用率，减小成本。