公开/公告号CN212909642U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-04-06
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳慧华惠科技有限公司;
申请/专利号CN202022209914.2
发明设计人 黄士鹏;
申请日2020-09-30
分类号H04M1/17(20060101);
代理机构31374 上海创开专利代理事务所(普通合伙);
代理人吴海燕
地址 518100 广东省深圳市龙岗区横岗街道松柏社区保康路123号303
入库时间 2022-08-22 20:36:05
机译: 擦试设备。
机译: 1.采用一种与除尘器排气时钟后面板相连的除虫器。时钟侧面有多对刮擦设备,并且刮擦设备可以减小刮擦的宽度。
机译: 用于CMP的半导体设备,其用于防止刮擦,并且提供了一种刮擦防止方法,以固化在抛光过程中产生的固体污泥,并在使用冷却板时将其固结在设备上