一种用来混配高精度、低不确定度二元标准气体的装置

摘要

一种用来混配高精度、低不确定度二元标准气体的装置，该装置包括组分气钢瓶，其特征在于所述组分气钢瓶连组分气输入截止阀进口，组分气输入截止阀出口分别连组分气输入止回阀进口、吹扫截止阀出口，组分气输入止回阀出口连组分气杂质吸附器入口，并在两者之间设置组分气压力传感器，组分气杂质吸附器出口连组分气流路气动隔膜阀进口，本发明不同于常规ppm级标准气三次、四次稀释配置法，通过将测量用电子天平分别放置于平衡气原料钢瓶和组分气预充装钢瓶来实现高精度、低不确定度二元标准气体的混配。