一种射流抛光中形成高斯型去除函数的装置

摘要

本实用新型公开了一种射流抛光中形成高斯型去除函数的装置，属于光学制造技术领域，包括本体，本体包括旋转轴，旋转轴下端沿轴线方向上设置有标准锥，标准锥至少有一侧倾斜设置有喷嘴，旋转轴中心设置有用于流通抛光液的入流通道，入流通道下端与喷嘴连通，抛光液在喷嘴末端形成有射流束，射流束与旋转轴线的交点应位于工件表面上方，且交点且离工件表面的距离0‑1000μm,采用斜入射旋转扫略的方式来产生高斯型去除函数，通过在旋转轴、标准锥、喷嘴和测头，调整喷嘴距离工件表面的高度，可以在材料表面形成具有一定的高斯曲线，并且可以对抛光液进行收集，并且通过供液泵进行回收利用，提高资源利用效率。