一种刻蚀出料翻片装置

摘要

本实用新型公开了一种刻蚀出料翻片装置，其特征在于：所述的电机安装座安装在机架内，驱动电机安装在电机安装座上，主动带轮安装在驱动电机输出轴上，机架顶面沿左右方向等间距安装有若干个传送单元且每个传送单元后侧都安装有翻转单元，滑片接收盒安装在机架顶面上且滑片接收盒位于翻转单元的前侧，从动带轮安装在传动轴右端，同步齿形带安装在从动带轮和主动带轮上。本实用新型结构简单，采用方型伯努利吸盘，确保吸力的同时，减少了吸盘的体积，安装有滑片接收装置，设备发生故障时，刻蚀设备内流出的硅片不会堵塞在设备内，皮带采用特殊的方式缠绕，避开了中间传送轴，更换皮带时，不需要拆传送传动轴，大大减少了设备维修时间。