硬轴重载硅单晶提拉装置

摘要

本实用新型提供一种硬轴重载硅单晶提拉装置，包括支撑结构、单晶体承重外硬轴且其底部安装有单晶体卡爪、籽晶承重内硬轴且其底部安装有籽晶卡头、用于驱动所述单晶体承重外硬轴转动的旋转驱动装置、用于驱动所述单晶体承重外硬轴升降的外硬轴升降装置和用于驱动所述籽晶承重内硬轴升降的内硬轴升降装置。本实用新型实现了内硬轴和外硬轴的同步旋转运动、外硬轴的单独升降运动和内硬轴的单独升降运动，具有较强的强度和刚度，能够承载500Kg以上重量的单晶体，弥补软轴提拉装置承载能力不足、避免软轴提拉装置中的软轴摆动和单摆共振现象，能够克服热场对称性偏差、气流激励作用力对称性偏差等方面引起的晶体扰动。