一种基于低温冷源的稀有气体纯化装置

摘要

本实用新型公开了一种基于低温冷源的稀有气体纯化装置，该装置包括真空罩（8）、低温制冷机（4），在真空罩（8）内设有回热换热器（1）、固化换热器（3）、冷头换热器（2）和吸附器（7），其中回热换热器（1）分别与混合气进口管（10）和产品气出口管（11）相连通；回热换热器（1）通过输入管路和回流管路与固化换热器（3）相连接，固化换热器（3）通过输入管路和回流管路与冷头换热器（2）相连接；吸附器（7）设置固化换热器（3）前侧或后侧的输入管路上；所述冷头换热器（2）与低温制冷机（4）的制冷机冷头（6）连接换热。本实用新型的纯化装置采用低温吸附结合固化的方法，使得纯化器的使用范围更广、纯化效率更高。