一种利用低浓度HF溶液处理SiF4尾气的尾气吸收装置

摘要

本发明涉及一种利用低浓度HF溶液处理SiF4尾气的尾气吸收装置，包括一级循环水洗部、二级循环水洗部、三级循环水洗部、循环碱洗部以及尾气风机；所述一级循环水洗部、二级循环水洗部、循环碱洗部以及尾气风机依次逐级连通，其特征在于：所述一级循环部的输入端设置有用于缓冲待处理的SIF4气体压力波动的缓冲单元；所述缓冲单元包括尾气缓冲罐；所述尾气缓冲罐包括内部设置有缓冲腔的罐体、设置在缓冲腔内的螺旋缓冲管以及蝶阀；所述尾气缓冲罐上设置有进气管和出气管；所述螺旋缓冲管横向设置缓冲腔内；且螺旋缓冲管的两端分别与进气管和出气管连通；所述蝶阀安装在出气管的输出口内。本发明实用性强，易于推广。