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电弧等离子体炬用引燃气体分配环

摘要

本实用新型的电弧等离子体炬用引燃气体分配环,具有上环体、中环体和下环体;所述上环体的上表面呈具有凹凸结构的异形面,能够与绝缘套的下端面匹配,所述下环体的下表面具有与其外部阳极匹配压紧的圆锥面;所述中环体上绕轴均匀开设有若干切向孔,所述切向孔将流经分配环环体之外的气流导入分配环环体之内流出。本实用新型独立于绝缘套并单独固定于绝缘套底部,能够为气体提供平稳的出气分配结构,形成长期稳定的旋转气流,提高了电弧和电压的稳定性,尤其适用于金刚石材料的沉积制备。

著录项

  • 公开/公告号CN212152433U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2020-12-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 杨卫正;

    申请/专利号CN202020260456.2

  • 发明设计人 杨卫正;

    申请日2020-03-05

  • 分类号C23C16/27(20060101);C23C16/503(20060101);

  • 代理机构12226 天津企兴智财知识产权代理有限公司;

  • 代理人陈雅洁

  • 地址 300000 天津市河西区友谊北路29号

  • 入库时间 2022-08-22 18:33:30

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