一种用于热丝化学气相沉积系统的热丝布置装置

摘要

本实用新型公开一种用于热丝化学气相沉积系统的热丝布置装置，包括用于放置物料的轴杆，所述轴杆上成对设置有电极盘，所述电极盘上设有若干穿丝孔，热丝穿过所述穿丝孔架设在成对的所述电极盘之间。通过成对设置带多个穿丝孔的电极盘，热丝穿过穿丝孔架设在电极盘之间，并能根据待加工的零部件的形状调整热丝的布置方式，实现了一台热丝布置装置满足各种不同大小、不同形状的产品的加工需要，提高了通用性。