半导体晶粒相邻面同时准等光程共焦成像检测的新装置

摘要

本实用新型公开一种半导体晶粒相邻面同时准等光程共焦成像检测的新装置，包括在光路方向上依次设置的相机、远心成像镜头、半透半反射合像器、半导体晶粒和用于承置半导体晶粒的透明载物台，在半导体晶粒与半透半反射合像器之间的光路上分别设有第一直角转像棱镜和第二直角转像棱镜，第二直角转像棱镜位于远心成像镜头光轴的第一侧部，两个直角转像棱镜各自的两个直角面均与光路垂直，半导体晶粒的至少两个面分别经直角转像棱镜、半透半反射合像器以双光路成像在相机传感器面上不同的区域位置。本实用新型优点：可获得晶粒相邻面准等光程共焦成像且等照度照明的检测；相邻面双像之间的距离大小△可调整。