一种适用于超净间的大负载高精度水平运动结构

摘要

一种适用于超净间的大负载高精度水平运动结构，包括传动结构、骨架结构和正面保护结构；骨架结构用于固定传动结构和正面保护结构；传动结构置于正面保护结构内；正面保护结构包括密封带、支撑辅助轮和正面板；密封带与传动结构固定连接，与支撑辅助轮传动连接；支撑辅助轮固定安装在骨架结构和传动结构上；正面板上设有轨道槽；密封带覆盖在轨道槽上，将传动装置正面的面板轨道槽遮蔽起来，减少了传动装置内部与外部环境的空气对流，满足高等级超净间的要求。本实用新型的传动结构采用了两根直线导轨，分别安装在相互垂直两个面上，这种结构设计能提高水平运动结构的负载能力和稳定性。采用同步带和步带轮做为传动机构，提高位置控制的精度。