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一种应用于柔性印刷电路板的光刻装置

摘要

本实用新型提供了一种应用于柔性印刷电路板的光刻装置,其包括底座,其还包括置于所述底座上的放卷装置、第一曝光系统、第二曝光系统、夹持机构和收卷装置,所述夹持机构分别邻近所述放卷装置和所述收卷装置,所述夹持机构之间为柔性印刷电路板待曝光区域,所述第一曝光系统和所述第二曝光系统位于所述柔性因数电路板的两侧。所述光刻装置不需要复杂的折返结构即完成了柔性印刷电路板的双面曝光。

著录项

  • 公开/公告号CN211741827U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2020-10-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 苏州源卓光电科技有限公司;

    申请/专利号CN201922399790.6

  • 发明设计人 刘栋;张雷;

    申请日2019-12-27

  • 分类号G03F7/20(20060101);

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 215026 江苏省苏州市工业园区汀兰巷192号C5幢102室

  • 入库时间 2022-08-22 17:24:12

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2023-08-25

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2019223997906 变更事项:专利权人 变更前:苏州源卓光电科技有限公司 变更后:源卓微纳科技(苏州)股份有限公司 变更事项:地址 变更前:215026 江苏省苏州市工业园区汀兰巷192号C5幢102室 变更后:215026 江苏省苏州市工业园区汀兰巷192号C5幢102室

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

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