青铜金刚石砂轮的皮秒绿激光修锐装置

摘要

本实用新型涉及青铜金刚石砂轮的皮秒绿激光修锐装置，包括用于发射基频激光的超快激光器以及用于装夹青铜金刚石砂轮的三爪自定心卡盘，三爪自定心卡盘安装于机械臂上，超快激光器的输出光路上依次布置有用于二次谐波转换的倍频系统、用于光束扩束的光束扩束系统以及用于控制光束运动轨迹的高速振镜扫描系统，高速振镜扫描系统的输出端正对于三爪自定心卡盘上的青铜金刚石砂轮。皮秒激光修锐青铜金刚石砂轮时，很大程度上减少砂轮表面金刚石磨粒因高温而产生的热损伤；通过调整超快激光器与高速振镜扫描系统的工艺参数，实现砂轮表面青铜基体的选择性定量去除；通过机械臂与高速扫描振镜系统协同运动满足不同修锐轨迹需求。