一种压电驱动式隧道磁阻面内检测的微陀螺装置

摘要

一种压电驱动式隧道磁阻面内检测的微陀螺装置，主要结构由键合基板、支撑框架、驱动组合梁组件、检测组合梁组件、驱动质量块、检测质量块、检测磁体、隧道磁阻元件、压电薄膜驱动电极组件、导线、电极组成。支撑框架放置在键合基板上，通过驱动组合梁组件连接驱动质量块，驱动质量块通过检测组合梁组件连接检测质量块。隧道磁阻元件放置在检测质量块上表面中心与键合基板中心凹槽内沉积的检测磁体相对应。本实用新型采用压电效应驱动，驱动位移大，功耗低；隧道磁阻效应检测，隧道磁阻元件对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此装置结构设计合理、简单，使用方便，适合微型化。