MEMS麦克风和电子产品

摘要

本实用新型涉及一种MEMS麦克风和电子产品，其包括第一基板、第二基板、防水膜、MEMS芯片和ASIC芯片，所述第二基板盖设在所述第一基板上，所述第二基板与第一基板之间形成有容纳腔，所述第二基板上形成有贯通的次声孔，所述第一基板上形成有贯通的主声孔；所述防水膜设置在所述容纳腔中，所述防水膜将所述主声孔和次声孔隔开；所述MEMS芯片设置在所述第二基板上；所述ASIC芯片设置在所述容纳腔中。本实用新型提供的MEMS麦克风和电子产品，防水膜能够防止外侧环境中的灰尘、液体等异物进入MEMS麦克风内，提高MEMS麦克风的可靠性。