前后零位补偿结合检验凹非球面镜的光学系统

摘要

本专利公开了一种前后零位补偿结合检验凹非球面镜的光学系统。由检测设备发出平行光线经后零位补偿透镜汇聚到待检凹非球面镜的曲率半径球心像o后，光线发散再经前零位补偿透镜透射，至待检凹非球面镜自准反射沿原路返回。平行光检测相对会聚光路，可以忽略检测设备与补偿镜距离、偏心影响因素，装调环节少，有利于获取高精度非球面面形；前后零位补偿镜相结合，使非球面球心前后区间具有相关性，大大提升了补偿镜的像差补偿能力，可实现大相对孔径非球面检测；补偿镜与被检非球面口径比非常小仅为0.1，材料易于获取与加工；采用两片全球面透镜，数量少、结构简单，适用于各种光学仪器领域大口径、大相对孔径和高精度的非球面检测。