一种用于蚀刻机零组件表面洗净后测量治具

摘要

本实用新型提供了一种用于蚀刻机零组件表面洗净后测量治具，包括治具本体，设置于所述治具本体内部的夹持组件，以及设置于所述治具本体下方的对心组件；所述夹持组件包括约束于所述治具本体内且仅能沿所述治具本体径向移动的夹持单元，设置于所述夹持单元的尾部且仅能沿所述治具本体的轴线方向移动的顶块；所述对心组件包括对心板、轴体、驱动杆以及连杆。通过利用对心组件对治具相对工件自动对心，并且利用夹持组件顶撑夹持住工件的内壁，使得治具本体固定于工件上，避免因震动影响导致治具本体错位，同时其操作简单拆卸快速。