公开/公告号CN211628004U
专利类型实用新型
公开/公告日2020-10-02
原文格式PDF
申请/专利权人 江苏九迪激光装备科技有限公司;
申请/专利号CN201922197023.7
申请日2019-12-10
分类号G03F7/20(20060101);H05K3/06(20060101);
代理机构11531 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人李宏伟
地址 221341 江苏省徐州市邳州市岔河镇岔河电子产业园江苏九迪激光装备科技有限公司
入库时间 2022-08-22 17:04:19
机译: 使用微镜投射光学系统的曝光机,以及使用该曝光机制造装置的方法
机译: 曝光机的校正装置及曝光机的校正方法
机译: 自动上下料装置