一种低敏感度粗波分复用滤光片

摘要

本实用新型公开了一种低敏感度粗波分复用滤光片，包括：玻璃基板；波分复用膜层，波分复用膜层设置在玻璃基板的一侧，波分复用膜层包括50层Ta₂O₅膜层和50层SiO₂膜层，Ta₂O₅膜层和SiO₂膜层交替叠加设置；及增透膜层，增透膜层设置在玻璃基板的另一侧，增透膜层包括2层Ta₂O₅膜层和2层SiO₂膜层，Ta₂O₅膜层和SiO₂膜层交替叠加设置。通过上述方式，本实用新型能够减少滤光片的膜层层数，降低了滤光片的膜层厚度，减少了wafer材料的使用量，降低了光学加工成本；且由于膜层层数较少，降低了镀膜膜系设计敏感度，同时也降低了监控光监控精度要求，可以通过更多类型的镀膜机制得，无需只能通过高端镀膜机制得，从而可以降低制作成本，实现量产，有利于推广应用。