基于方孔辅助电子动态调控晶硅表面周期性微纳结构方法

摘要

本发明涉及一种基于方孔辅助电子动态调控晶硅表面周期性微纳结构方法，属于飞秒激光应用技术领域。本发明方法基于局部瞬时电子激发动态调控，利用飞秒激光线偏振经物镜聚焦后通过方孔铜网聚焦于材料表面实现不同表面周期性微纳结构的多种精确控制：通过控制激光扫描速度及脉冲能量的大小，实现条状表面波纹结构及多点阵列微纳结构的烧蚀加工；控制激光偏振方向与方孔边缘方向(x轴)的相对位置可实现周期性微纳结构方向的控制；通过有效调节线偏振激光方向与方孔边缘方向(x轴)夹角，实现晶硅表面周期性微纳结构的选择性烧蚀加工。对比现有方法，本发明有效提高了表面处理的加工精度及加工效率，实现高效精确的表面周期性微纳结构形态的调控。