一种碳化硅晶片的退火用装置和退火用堆叠结构

摘要

本实用新型涉及一种碳化硅晶片的退火用装置和退火用堆叠结构，碳化硅晶片的退火用装置包括C形装置底座和多个圆弧状凸起墩，C形装置底座设有C形上表面、C形下表面、内圆弧侧面和外圆弧侧面，多个圆弧状凸起墩等间距设置于C形上表面的外缘端，多个圆弧状凸起墩包括第一圆弧侧面和第二圆弧侧面，第一圆弧侧面和第二圆弧侧面与内圆弧侧面和外圆弧侧面同心设置；退火用堆叠结构包括上、下堆叠的上述退火用装置，每个退火用装置的C形装置底座的开口位置相对应。本实用新型的退火用装置和退火用堆叠结构，便于晶片取放，同时能减少晶片与装置的接触面积，避免晶片的接触污染，并通过堆叠实现多张碳化硅晶片的同时退火，提高晶片的退火效率。