一种镜头污染防控装置、LDI镜头及LDI设备

摘要

本实用新型公开了一种镜头污染防控装置、LDI镜头及LDI设备，属于光刻机镜头领域。镜头污染防控装置包括壳体和进气管，壳体为筒状结构，筒壁上沿竖直方向开有槽，槽的深度小于筒壁高度；壳体上开有进气口，进气口与槽相通；进气管用于向槽内通入气体以便在成像镜头的下端镜片的表面形成保护气幕。通过在下端镜片的表面形成保护气幕，使得工件上的有机溶剂污染物无法到达成像镜头的下端镜片，从而保护下端镜片不被污染，无法形成污染膜，相对于更换保护镜片的方案，本申请大大降低了维护成本；进一步的，通过抽气孔以及抽气管将下端镜片下方的气体抽走，同时带走气体中的污染物和热量，降低环境温度，使得LDI设备的使用寿命更长。