一种基于微波干涉绝对测量气体压力的仪器

摘要

本实用新型涉及一种基于微波干涉绝对测量气体压力的仪器，包括：微波谐振腔，所述微波谐振腔具有容置空间；压力仓，所述微波谐振腔与所述压力仓之间通过支撑部件进行连接；微波发射和接收单元，所述微波发射和接收单元包括微波发射部件和微波接收部件；温度测量单元，其对微波谐振腔内部温度进行测量；以及数据采集、处理和显示部分；其特征在于：所述微波谐振腔的上端盖还包含进气孔，微波谐振腔的下端盖有出气孔，保证压力仓内压力和谐振腔体内压力相等；所述数据采集、处理和显示部分连接到所述微波发射和接收单元以及温度测量单元，用于对微波数据信号和温度信号进行采集和处理。