一种芯片嵌入式微通道散热器

摘要

本实用新型公开了一种芯片嵌入式微通道散热器，包括芯片，还包括微通道散热器，所述芯片底部与微通道散热器顶部嵌入式连接；所述微通道散热器包括散热腔、供给腔、排出腔、若干流入微射口、若干流出微射口、散热器入口、散热器出口；所述散热器入口设置在微通道散热器底部，并且散热器入口连通供给腔；所述供给腔连通若干流入微射口；所述若干流入微射口成阵列分布；所述散热腔中下侧设置若干流出微射口；所述若干流出微射口成阵列分布，并且流出微射口连通排出腔；所述排出腔连通散热器出口。本实用新型将微通道散热器与芯片一体化集成，在芯片衬底内嵌微通道散热器，提供更大的换热面积和更高的对流换热系数，解决芯片内部“热点”的散热难题。